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PRODUCTS CENTER當前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心半導體專(zhuān)用檢測儀器設備XRDFreiberg-Omega/Theta XRDOmega/Theta XRD Mapping面掃功能
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Omega/Theta XRD Mapping面掃功能掃臺允許使用受控的網(wǎng)格模式來(lái)探索整個(gè)樣品表面。Omega/Theta XRD可以很容易地在轉盤(pán)頂部容納額外的XY定位平臺。樣品表面可以根據用戶(hù)定義的網(wǎng)格進(jìn)行掃描。由于樣品上X射線(xiàn)光斑的大小,小的網(wǎng)格間距約為1毫米。
繪圖階段可以與Omega掃描結合起來(lái),以獲得晶體方向圖,或與搖擺曲線(xiàn)測量結合起來(lái),以獲得表面的扭曲圖??商峁┯糜陲@示和分析的軟件包。
Omega/Theta XRD Mapping面掃功能
是診斷晶體生長(cháng)過(guò)程中和制造過(guò)程中出現的質(zhì)量問(wèn)題的一個(gè)寶貴工具
即使在單晶中,晶體取向也可以在表面上表現出微小的變化,這是由晶格缺陷引起的內部應變造成的。有序生長(cháng)的薄膜也可以有一個(gè)有趣的面內取向分布。
繪制一個(gè)表面需要大量的測量。在這里,歐米茄掃描方法可以提供其速度方面的優(yōu)勢。圖中顯示的是在一個(gè)(Si,Ge)固溶體晶片上測量的取向圖。較大的方向差是0.03°。同心圓是按照晶體的生長(cháng)環(huán)進(jìn)行的。
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