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晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD

  • 更新時(shí)間:  2024-03-04
  • 產(chǎn)品型號:  Wafer XRD-200
  • 簡(jiǎn)單描述
  • 晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD用于全自動(dòng)分揀、晶體取向、optical notch and flat determination測定等。Si | SiC | AlN | 藍寶石(Al2O3) | GaAs | Quartz | LiNbO3 | BBO和其他100多種材料。
詳細介紹

晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的特點(diǎn)

◇  自動(dòng)化的晶圓處理和分類(lèi)系統(例如:盒到盒)。

◇  晶體取向和電阻率測量 

◇  晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(cháng)度)的光學(xué)測定 

◇  未拋光的晶圓和鏡面的距離測量 

◇  MES和/或SECS/GEM接口

晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的Omega-scan方法:

◇  高的精度 

◇  測量速度: < 5秒/樣品 

◇  易于集成到工藝線(xiàn)中 

◇  典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100):   < 0.003 °,小于< 0.001 °。

 


全自動(dòng)化的晶圓分揀和處理系統


Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑:        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創(chuàng )立。

◆  1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線(xiàn)檢測計數裝置,名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開(kāi)發(fā) Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆  2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線(xiàn)衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售出 約 150臺石英分選系統

◆  2015 - X 射線(xiàn)技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH        


傳承60年德國工匠精神-三代X射線(xiàn)工程師        

    



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