晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的特點(diǎn):
◇ 自動(dòng)化的晶圓處理和分類(lèi)系統(例如:盒到盒)。
◇ 晶體取向和電阻率測量
◇ 晶片的幾何特征(缺口位置、缺口深度、缺口開(kāi)口角度、直徑、平面位置和平面長(cháng)度)的光學(xué)測定
◇ 未拋光的晶圓和鏡面的距離測量
◇ MES和/或SECS/GEM接口
晶圓x射線(xiàn)晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的Omega-scan方法:
◇ 高的精度
◇ 測量速度: < 5秒/樣品
◇ 易于集成到工藝線(xiàn)中
◇ 典型的標準偏差傾斜度(例如:Si 100): < 0.003 °,小于< 0.001 °。
全自動(dòng)化的晶圓分揀和處理系統
Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑:
◆ 1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞瑟·布拉達切克和他的兒子漢斯·布拉達切克創(chuàng )立。
◆ 1969 - 研制了世界上基于集成電路的x射線(xiàn)檢測計數裝置,名為 COUNTIX 130。
◆ 1989 - 開(kāi)發(fā) Omega-Scan 方法
BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 - 振蕩器產(chǎn)量從 50% 提高到 95%
◆ 2005 - 將 Omega 轉移到其他材料,如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金
◆ 2010 - 推出用于晶體取向測量的臺式 X 射線(xiàn)衍射儀 ( DDCOM )
全球售出 約 150臺石英分選系統
◆ 2015 - X 射線(xiàn)技術(shù)和 EFG GmbH 合并到 Freiberg Instruments GmbH
傳承60年德國工匠精神-三代X射線(xiàn)工程師
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